三氯氫硅、多晶硅尾氣回收和處理技術(shù)。
現(xiàn)狀：據(jù)測(cè)算，1000噸多晶硅還原過(guò)程中將產(chǎn)生370萬(wàn)Nm3氫氣，1350噸氯化氫、21600噸三氯氫硅和12000噸四氯化硅，如不回收利用，將造成資源的浪費(fèi)和環(huán)境的污染。
預(yù)計(jì)效益：運(yùn)用該技術(shù)回收上述物料，按目前市價(jià)計(jì)算每年可直接節(jié)約2.48億元費(fèi)用，相當(dāng)于每公斤多晶硅減少248元的成本。
    我公司目前運(yùn)用獨(dú)有技術(shù)對(duì)多晶硅尾氣回收投產(chǎn)成功，據(jù)了解在多晶硅尾氣回收技術(shù)國(guó)內(nèi)此前一直使用國(guó)外的技術(shù)和設(shè)備。此項(xiàng)目的成功意味著國(guó)產(chǎn)化的開(kāi)始，經(jīng)濟(jì)效益明顯提高，降低生產(chǎn)成本。國(guó)內(nèi)有其他公司進(jìn)行相類似的技術(shù)研發(fā)和推廣。但只是理論上的技術(shù)，發(fā)展不完善。沒(méi)有工業(yè)裝置投產(chǎn)。